シリコン加工事例
シリコンの加工事例を紹介します。
半導体製造において、ウェーハと同材質であるシリコンは、コンタミネーション、パーティクルを避ける用途で、製品を加工しています。
柱状晶(多結晶)の素材は、大型サイズもあります。また、柱状晶の方が単一の結晶でないため、カケ、チッピング、ワレの加工性は良好です。
シリコンの代表的な特性
項目 | ビッカース硬度 HV(GPa) |
曲げ強度 (MPa) |
融点 (℃) |
線膨張係数(×10-⁶/℃) | 熱伝導率(W/(m・K)) | 体積抵抗率 (μΩ・㎝) |
純度 (%) |
ドープ型 |
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結晶系 化学式 |
||||||||
単結晶 (Si) |
7 | 78 | 1,414 | 3.4 | 160 | 0.1~100 | 11N | N P |
柱状晶 (Si) |
7 | 85 | 1,414 | 3.3 | 163 | 0.001~10 | 6N | P |
※詳しくは弊社加工材質ガイドをご参照ください。
加工可能なサイズ
項目 | サイズ(mm) | 項目 | サイズ(mm) |
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板 寸法 | 500×800×50(柱状晶) | 穴径 | Φ0.03~ |
丸棒寸法 | Φ100×400(柱状晶) | 穴深さ | 20D(~Φ1.5)、400(Φ1.5~) |
溝 | 幅0.05~ | 穴数 | ~5,000 |
段差(凹凸) | ~100 | ネジ | M3~(ヘリサート挿入要) |
株式会社トップ精工
〒526-0105
滋賀県⻑浜市細江町1197-4
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